Schwingungsfrei trotz extremer Beschleunigung

Einsatz der Industriestoßdämpfer-Serie PowerStop in einer Dynamic Wafer Stage

In Hochpräzisionsprozessen, wie dem Laser-Fuse-Cutting und in anderen modernen Verfahren der Halbleiterfertigung, sind Positioniersysteme mit extremen Anforderungen an Geschwindigkeit, Beschleunigung und Wiederholgenauigkeit unverzichtbar. Die EZ-GS0760 Dynamic Wafer Stage von Eitzenberger ist ein Mehrachssystem, das für solche Anwendungen entwickelt wurde.  

Zur Absicherung der hochdynamischen Bewegungen und zum kontrollierten Energieabbau in Endlagen integriert Eitzenberger Industriestoßdämpfer der Serie PowerStop der Zimmer Group in das Gesamtkonzept der Stage. Die Dämpfer übernehmen die kontrollierte Aufnahme kinetischer Restenergie in definierten Endlagen und tragen dazu bei, mechanische Belastungsspitzen vom System fernzuhalten bei – selbst bei Bewegungen mit Beschleunigungen von bis zu 8 g.

Die Dynamic Wafer Stage EZ-GS0760

Die EZ-GS0760 Dynamic Wafer Stage ist ein hochdynamisches X/Y-Positioniersystem mit Z-Fokusachse, das für schnelle und hochpräzise Anwendungen konzipiert ist. Das System zeichnet sich durch Nanometergenauigkeit in Positionierung und Wiederholgenauigkeit aus, ermöglicht schnelle Richtungswechsel und arbeitet mit integrierten Differenzlaserinterferometern der Firma SIOS, die Abbe-Fehler in Echtzeit kompensieren. Trotz dieser hochentwickelten Messtechnik entstehen bei abrupten Bewegungsstopps oder Richtungswechseln kinetische Energien, die mechanisch kontrolliert abgebaut werden müssen, um die Präzision der Stage nicht zu gefährden.

Industriestoßdämpfer der Serie PowerStop

Von 100 auf 0 mit einem Dämpfer. Industriestoßdämpfer wie die PowerStop-Serie sind speziell dafür ausgelegt, kinetische Energie von bewegten Massen kontrolliert aufzunehmen und in Wärme umzuwandeln. Im Gegensatz zu starren Anschlägen ermöglichen sie ein schwingungsarmes Abbremsen der Massen, verhindern Rückschläge und reduzieren mechanische Belastungen auf Achsen, Führungen und Sensorik. In der Dynamic Wafer Stage übernehmen sie definierte Schutz- und Sicherheitsfunktionen innerhalb des Gesamtsystems und stellen sicher, dass auch bei extremen Beschleunigungen keine schädlichen Belastungsspitzen in die Struktur eingeleitet werden.Dadurch tragen sie unmittelbar zur Stabilität der Prozesse und zur Lebensdauer der Anlage bei.

Kontinuierliche Dämpfung dank Wendelnut-Technologie

Mit dem PowerStop hat die Zimmer Group einen hydraulischen Industriestoßdämpfer entwickelt, der die Bewegungsenergie auf null herunterbremst. Durch optimale Auslastung erreicht der PowerStop maximale Energieaufnahmen auf kleinstem Bauraum. Die einzigartige Wendelnut-Technologie gewährleistet ein schwingungsarmes Bremsverhalten, ohne Präzision einzubüßen. Die hydrostatische Kolbenführung sorgt für eine hohe Lebensdauer und gleichbleibende Dämpfungseigenschaften über Millionen von Zyklen hinweg. Edelstahlgehäuse und korrosionsbeständige Materialien sichern dabei den Langzeiteinsatz in anspruchsvollen industriellen Umgebungen. Unterschiedliche Varianten der Serie erlauben die Anpassung an die spezifischen Energie- und Bauraumanforderungen verschiedener Achsen innerhalb der Dynamic Wafer Stage.

Bedeutung für die Dynamic Wafer Stage

Die PowerStop-Stoßdämpfer erfüllen in der EZ-GS0760 mehrere Aufgaben. Zum einen wird die kinetische Energie der hochdynamischen Bewegungen sicher abgebaut, wodurch harte mechanische Stöße verhindert werden. Zum anderen reduziert die präzise Dämpfung Schwingungen, die sich negativ auf die Positioniergenauigkeit auswirken könnten. Dies ist besonders relevant für Anwendungen, bei denen Nanometergenauigkeit erforderlich ist, wie beispielsweise beim Laser-Fuse-Cutting oder beim hochpräzisen Scannen von Wafern. Darüber hinaus schützt die Dämpfung die mechanischen Komponenten und Sensoren, wodurch sich die Wartungsintervalle verlängern und die Verfügbarkeit des Systems erhöht.

Fazit

Industriestoßdämpfer der PowerStop-Serie sind ein integraler Bestandteil des Schutz- und Sicherheitskonzepts von Mehrachssystemen wie der Dynamic Wafer Stage der Firma Eitzenberger. Sie sorgen dafür, dass die hochdynamischen Bewegungen kontrolliert abgebremst werden, minimieren Schwingungen und entlasten die mechanischen Komponenten. Damit tragen sie entscheidend zur Präzision, Zuverlässigkeit und Lebensdauer des Systems bei. In Kombination mit der hochentwickelten Messtechnik und der dynamischen Konstruktion der Stage ermöglichen die Stoßdämpfer, dass selbst anspruchsvollste Fertigungsprozesse effizient und reproduzierbar umgesetzt werden können.